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2010, ISBN: 9783639076356

[ED: Taschenbuch / Paperback], [PU: VDM Verlag Dr. Müller], In this work we present the results of the thin films of boron nitride deposited by D.C. and R.F. magnetron sputtering from hot… mais…

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[ED: Softcover], [PU: VDM Verlag Dr. Müller], In this work we present the results of the thin films of boron nitride deposited by D.C. and R.F. magnetron sputtering from hot-pressed B4C a… mais…

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2010

ISBN: 3639076354

[EAN: 9783639076356], Neubuch, [PU: VDM Verlag Jul 2010], Neuware - In this work we present the results of the thin films of boron nitride deposited by D.C. and R.F. magnetron sputtering … mais…

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VDM Verlag Dr. Müller, Taschenbuch, 96 Seiten, Publiziert: 2010-08-10T00:00:01Z, Produktgruppe: Buch, 0.34 kg, Maschinenbau, Ingenieurwissenschaften, Fachbücher, Kategorien, Bücher, Ingen… mais…

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Dados bibliográficos do melhor livro correspondente

Pormenores referentes ao livro
Boron nitride thin films: deposited by magnetron sputtering on Si3N4
Autor:
Título:
Número ISBN:

3639076354


In this work we present the results of the thin films of boron nitride deposited by D.C. and R.F. magnetron sputtering from hot-pressed B4C and h-BN targets on two different substrates: Si3N4 ceramics with different surface finishing and Si(100) wafers. The influence of parameters such as substrate temperature and working gas composition ratio (N2 or Ar), on film thickness, deposition rate, cristallinity, residual stress, phase composition and hardness, were systematically investigated using techniques like SEM, XRD, FT-IR and nanohardness.

Dados detalhados do livro - Boron nitride thin films: deposited by magnetron sputtering on Si3N4


EAN (ISBN-13): 9783639076356
ISBN (ISBN-10): 3639076354
Livro de capa dura
Livro de bolso
Ano de publicação: 2010
Editor/Editora: VDM Verlag Dr. Müller

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Página de detalhes modificada pela última vez em 2022-11-13T02:47:29+00:00 (Lisbon)
Número ISBN/EAN: 3639076354

Número ISBN - Ortografia alternativa:
3-639-07635-4, 978-3-639-07635-6
Ortografia alternativa e termos de pesquisa relacionados:
Título do livro: boron, magnetron, thin films, seeing through films, nitride, sputtering

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