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Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography (SPIE Tutorial Texts in Optical Engineering Vol. TT47) - Alfred Kwok-Kit Wong
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ISBN: 0819439959

[SR: 1966210], Paperback, [EAN: 9780819439956], SPIE Publications, SPIE Publications, Book, [PU: SPIE Publications], SPIE Publications, This tutorial summarizes optical lithography enhanc… mais…

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Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography - novo libro

ISBN: 9780819439956

Ever-smaller IC devices are pushing the optical lithography envelope, increasing the importance of resolution enhancement techniques. This tutorial encompasses two decades of research. It… mais…

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2001

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SPIE Press, Taschenbuch, 214 Seiten, Publiziert: 2001-03-31T00:00:01Z, Produktgruppe: Book, Verkaufsrang: 4751601, Elektrotechnik, Ingenieurwissenschaft & Technik, Naturwissenschaften & T… mais…

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Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography, Tutorial Texts in Optical Engineering, V. Tt 47 - livro usado

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Pormenores referentes ao livro
Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography (Tutorial Texts in Optical Engineering, V. Tt 47)
Autor:
Título:
Número ISBN:

9780819439956


This tutorial summarizes optical lithography enhancement research and development over the past 20 years. Discusses theoretical and practical aspects of commonly used techniques, including optical imaging and resolution, modified illumination, optical proximity correction, alternating and attenuating phase-shifting masks, selecting RETs, and second-generation RETs. Useful for students and practicing lithographers.

Contents

- Foreword
- Preface
- List of symbols
- Introduction
- Optical imaging and resolution
- Modified illumination
- Optical proximity correction
- Alternating phase-shifting mask
- Attenuated phase-shift mask
- Selecting appropriate RETs
- Second-generation RETs
- Concluding remarks
- k1 conversion charts
- Bibliography
- Index

Dados detalhados do livro - Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography (Tutorial Texts in Optical Engineering, V. Tt 47)


EAN (ISBN-13): 9780819439956
ISBN (ISBN-10): 0819439959
Livro de bolso
Ano de publicação: 2001
Editor/Editora: SPIE Press

Livro na base de dados desde 2007-06-05T03:55:43+01:00 (Lisbon)
Página de detalhes modificada pela última vez em 2020-03-15T13:40:47+00:00 (Lisbon)
Número ISBN/EAN: 9780819439956

Número ISBN - Ortografia alternativa:
0-8194-3995-9, 978-0-8194-3995-6
Ortografia alternativa e termos de pesquisa relacionados:
Autor do livro: kit wong
Título do livro: resolution, spie vol, enhancement

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